低温等离子工业废气处理设备和技术作为一种新型的气态污染物处理技术是一种集物理，化学，生物和环境科学于一体的交叉集成电子化学技术，因为能很容易使污染物分子高效分解且处理能耗低等特点，是最多的一种国内外大气污染控制的有前途和有效的技术方法。它具有广泛的使用和推广前景，它为工业领域中的VOC有机废气和恶臭气体治理开辟了新的思路。
1.主要采用脉冲高频高压等离子电源和双介质齿板放电装置，端子放电形式产生高浓度离子。等离子体是一种聚集材料，其高能电子可以在几毫秒内瞬间穿透空气和排气分子，发生一系列的分化和裂解反应，产生高浓度，高强度，高能量活动自由度。碱和各种电子，离子等，当与机器废气中的分子碰撞时发生一系列物理化学反应，并在反应过程中产生各种活性自由基和生态氧，即由原子氧产生的臭氧分解。
2.活性自由基可以有效地破坏各种病毒和细菌中的核酸和蛋白质，使它们无法进行正常的新陈代谢和生物合成，从而导致它们死亡；生态氧可迅速在血浆中含有大量有机废气分子。高能电子，正离子和负离子，激发态粒子和具有强氧化性质的后型自由基。这些活性颗粒与一些废气分子碰撞，同时产生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性极强的O3，能与有害气体分子发生化学反应，生成无害产物。